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梅曼激光在高功率紫外激光器方面取得重要突破
材料來(lái)源: 天津梅曼激光技術(shù)有限公司          

高功率紫外激光器廣泛應(yīng)用于晶圓刻劃、陶瓷襯底切割、硅基襯底的打孔、柔性電路板切割等諸多領(lǐng)域。隨著加工精細(xì)度及生產(chǎn)效率的不斷提高,對(duì)紫外激光器的光束質(zhì)量、輸出功率及穩(wěn)定性要求越來(lái)越高。梅曼激光長(zhǎng)期致力于激光技術(shù)的開發(fā)和創(chuàng)新,尤其在高功率紫外激光器方面做了大量的創(chuàng)新性和開創(chuàng)性工作,開發(fā)出了高功率、高光束質(zhì)量、高穩(wěn)定性的紫外激光器,滿足激光微加工的需求。

梅曼激光通過(guò)對(duì)紫外激光器技術(shù)的深入研究,總結(jié)出了影響紫外激光器功率提升和長(zhǎng)期穩(wěn)定性的三大因素,包括激光器的熱效應(yīng)、三倍頻晶體的損傷、光路的失調(diào)與長(zhǎng)期穩(wěn)定性,通過(guò)解決這三個(gè)方面的技術(shù)瓶頸,大大提高紫外激光器的性能,從而實(shí)現(xiàn)高功率、高光束質(zhì)量、高穩(wěn)定性的紫外激光器。

高功率紫外,有效解決功率衰減,并擁有優(yōu)越的光束質(zhì)量和脈沖穩(wěn)定性,使用無(wú)憂

(光斑輪廓圖)

(圖片測(cè)試圖)

(功率穩(wěn)定性)

在激光器的熱效應(yīng),梅曼激光在國(guó)內(nèi)率先開展了波長(zhǎng)鎖定激光二極管共振泵浦技術(shù),通過(guò)對(duì)不同晶體參數(shù)(摻雜濃度、溫度、長(zhǎng)度)以及泵浦參數(shù)(浦功率密度和模式匹配)的優(yōu)化,有效的降低了激光器的熱效應(yīng),增加了振蕩光的模體積,提高了基頻光的光光轉(zhuǎn)換效率和光束質(zhì)量,為實(shí)現(xiàn)高功率的紫外激光輸出供強(qiáng)有力的前提條件。

在三倍頻晶體抗損傷方面,梅曼激光合理設(shè)計(jì)了激光諧振腔,使其在滿足模式匹配條件的同時(shí)降低三倍頻晶體端面的光功率密度,提高紫外激光器輸出功率上限。同時(shí)采用腔內(nèi)氣體微循環(huán)系統(tǒng)和腔內(nèi)去非金屬化技術(shù),對(duì)腔內(nèi)產(chǎn)生的揮發(fā)物進(jìn)行有效控制,提高了三倍頻晶體的使用壽命。

在光路的失調(diào)和長(zhǎng)期穩(wěn)定性方面,梅曼激光采用獨(dú)有的光路補(bǔ)償技術(shù)和對(duì)諧振腔的優(yōu)化,降低光學(xué)諧振腔的失調(diào)靈敏度,提高光路的自身穩(wěn)定性,在機(jī)械結(jié)構(gòu)方面,通過(guò)對(duì)激光器殼體及光學(xué)機(jī)械零件的力學(xué)分析和計(jì)算,設(shè)計(jì)出了高穩(wěn)定性的光學(xué)機(jī)械結(jié)構(gòu),并通過(guò)特殊的加工方式及熱處理方案降低材料的形變量,保證激光器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

梅曼激光通過(guò)對(duì)高功率紫外激光器多維度的技術(shù)攻關(guān),研制出高功率、高光束質(zhì)量、高穩(wěn)定性的30W級(jí)、長(zhǎng)壽命355nm紫外激光器,該激光器可以滿足7x24h的高強(qiáng)度使用環(huán)境并能夠保持長(zhǎng)期的穩(wěn)定性,可以廣泛應(yīng)用于激光微加工領(lǐng)域。

梅曼激光憑借強(qiáng)大的創(chuàng)新能力,贏得了良好的市場(chǎng)口碑和廣泛的客戶基礎(chǔ),產(chǎn)品涵蓋了從紅外到紫外,從連續(xù)到脈沖多種激光器產(chǎn)品,公司本著科技創(chuàng)新,產(chǎn)業(yè)報(bào)國(guó)的理念,止于至善的工匠精神,一步一個(gè)腳印的踏實(shí)發(fā)展,做好每一款產(chǎn)品,服務(wù)每一個(gè)客戶。

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