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半導體激光器 激光切割 激光器
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激光器光學性能指標匯總
材料來源:光學與半導體綜研          

1. 輸出功率:

指激光器在單位時間內(nèi)輸出的能量,通常以平均功率(W)或峰值功率(W/脈沖)來表示。輸出功率是評估激光器整體輸出能量和工作效率的重要參數(shù)之一。

2. 波長:

這里的波長是指激光的中心波長,是光譜中具有最高強度的波長,通常以納米(nm)為單位表示。激光的波長決定了其光子的能量,不同的應用領域需要不同波長的激光。

3. 脈沖寬度:

激光器的脈沖寬度是指激光脈沖的時間長度,是描述脈沖激光器性能的重要參數(shù)之一。不同的激光器可以產(chǎn)生不同時間尺度的脈沖,通常用納秒、皮秒、飛秒和阿秒等單位來描述。

納秒激光器(Nanosecond Laser):脈沖寬度在納秒級別,通常在幾納秒到幾十納秒之間。這種類型的激光器常用于需要中等能量的應用,如材料加工、醫(yī)療治療、激光雷達等。

皮秒激光器(Picosecond Laser):脈沖寬度在皮秒級別,通常在幾皮秒到幾十皮秒之間。皮秒激光器可以產(chǎn)生更短的脈沖,適用于需要更高精度和更少熱損傷的應用,如超快光學、生物醫(yī)學、材料加工等。

飛秒激光器(Femtosecond Laser):脈沖寬度在飛秒級別,通常在幾飛秒到幾十飛秒之間。飛秒激光器產(chǎn)生極短的光脈沖,可以實現(xiàn)超高精度的加工和研究,常用于超快光學、精密加工、眼科手術等領域。

阿秒激光器(Attosecond Laser):脈沖寬度在阿秒級別,通常在幾阿秒到幾十阿秒之間。這是極端超快的激光器類型,用于研究原子和分子的超快動力學過程,例如電子在原子中的運動。

4.重復頻率:

激光器的重復頻率是指單位時間內(nèi)激光器發(fā)射脈沖的次數(shù)或個數(shù),通常以赫茲(Hz)為單位。

重復頻率是衡量激光器工作速率和性能的重要參數(shù)之一,對于許多應用而言至關重要。

低重復頻率激光器:重復頻率較低,通常在幾赫茲到幾千赫茲之間。這種類型的激光器適用于需要高能量單脈沖的應用,如激光打孔、激光切割等。

中等重復頻率激光器:重復頻率適中,通常在幾千赫茲到幾十千赫茲之間。這種類型的激光器廣泛應用于激光加工、激光標記等領域,能夠平衡能量和速度。

高重復頻率激光器:重復頻率較高,通常在幾十千赫茲到幾百千赫茲甚至更高。這種類型的激光器適用于需要高速、高效加工的應用,如激光打印、激光醫(yī)療等。

5.行頻Line Frequency: 

激光器的行頻通常指激光器輸出的脈沖重復頻率,即單位時間內(nèi)脈沖的發(fā)射次數(shù)。行頻是激光器性能的重要指標之一,特別是在需要高頻率激光脈沖的應用中,如激光雷達、激光通信等。

影響激光器行頻的因素包括:

泵浦源的特性:激光器的泵浦源是提供激發(fā)能量的關鍵組件,其性能直接影響激光器的行頻。泵浦源的工作頻率和功率會影響激光器的行頻范圍。

激光介質(zhì)特性:不同類型的激光介質(zhì)具有不同的特性,如Nd:YAG激光器和CO2激光器的行頻范圍可能會有所不同。

光學腔的設計:光學腔的設計對激光器的行頻也有影響。合理設計的光學腔可以實現(xiàn)更高的行頻。

控制系統(tǒng):激光器的控制系統(tǒng)可以調(diào)節(jié)激光器的工作參數(shù),包括行頻?刂葡到y(tǒng)的性能和穩(wěn)定性對行頻的控制至關重要。

提高激光器行頻的方法包括:

優(yōu)化泵浦源:使用高效的泵浦源,并合理設計泵浦源的工作參數(shù),可以提高激光器的行頻。

優(yōu)化光學腔:合理設計光學腔的結(jié)構和參數(shù),可以提高激光器的行頻。

控制系統(tǒng)優(yōu)化:優(yōu)化激光器的控制系統(tǒng),提高其對激光器行頻的控制精度和穩(wěn)定性。

選擇合適的激光介質(zhì):根據(jù)應用需求選擇合適的激光介質(zhì),不同的激光介質(zhì)具有不同的行頻范圍。

溫度控制:對激光器進行恒溫控制,可以減小溫度變化對行頻的影響,提高行頻的穩(wěn)定性。

激光器的單脈沖能量是指每個脈沖所攜帶的能量,通常以焦耳(J)為單位。

6.單脈沖能量:

單脈沖能量是評估激光器輸出功率和材料加工效率的重要參數(shù)之一。

低單脈沖能量激光器(幾毫焦):每個脈沖攜帶的能量較低,通常在微焦耳(μJ)到毫焦耳(mJ)之間。這種類型的激光器適用于對材料要求較低能量、精細加工的應用,如微加工、超快光學實驗等。

中等單脈沖能量激光器(幾十毫焦):每個脈沖攜帶的能量適中,通常在幾毫焦耳(mJ)到數(shù)十毫焦耳(mJ)之間。這種類型的激光器廣泛應用于激光切割、激光打標、醫(yī)學治療等領域。

高單脈沖能量激光器(幾百毫焦):每個脈沖攜帶的能量較高,通常在數(shù)十毫焦耳(mJ)到數(shù)百焦耳(J)之間甚至更高。這種類型的激光器適用于需要大能量作用于材料表面的應用,如激光熔覆、激光清洗等。

7.光束質(zhì)量:

通常用M2因子來衡量,M2的計算通過測量激光束在不同位置處的光斑直徑,然后利用相關的算法來確定。一般來說,激光器的 M2值越接近 1,表示其光學質(zhì)量越高,激光束的發(fā)散性越小,聚焦性越好。

一種簡單的計算方式:M2=激光束的實際發(fā)散角度與理想光束的發(fā)散角度之比的平方根。

8.能量穩(wěn)定性:

激光器的能量穩(wěn)定性是指其輸出能量在時間和空間上的波動程度。對于許多應用而言,特別是需要高精度加工或者保持一致性的領域,如醫(yī)學治療或精密加工,能量穩(wěn)定性是非常重要的考量因素。

時間穩(wěn)定性:激光器輸出能量在時間上的波動程度。較好的時間穩(wěn)定性意味著激光器在連續(xù)工作時能夠保持穩(wěn)定的輸出能量,而不會出現(xiàn)劇烈波動。這對于需要長時間加工的任務尤為重要,如激光切割、焊接等。

空間穩(wěn)定性:激光器輸出能量在空間上的均勻性和一致性。好的空間穩(wěn)定性意味著激光束的能量分布在工件表面上是均勻的,沒有明顯的熱點或弱點。這對于需要均勻加工的任務,如表面涂層、光刻等領域尤為關鍵。

9.偏振比:

激光的偏振比是一個描述激光束偏振狀態(tài)的重要參數(shù),它指的是激光光束中某一特定偏振方向上的電場強度與垂直于該方向上的電場強度的比值。在實際應用中,激光的高偏振比通常是需要的,因為它有助于提高激光系統(tǒng)的性能和精確性。

舉例來說,如果一個激光束在水平方向上偏振,那么激光的偏振比就表示水平方向上電場強度與垂直于水平方向的電場強度之比。如果偏振比為1,表示電場在水平和垂直方向上的強度相等,即非偏振狀態(tài);而如果偏振比大于1,表示電場在水平方向上的強度大于垂直方向上的強度,即偏振狀態(tài)。因此,激光的偏振比是描述其偏振性質(zhì)的重要參數(shù),對于許多光學應用中的設計和操作都具有關鍵意義。

激光偏振比的重要性:

光學系統(tǒng)匹配:某些光學元件,如偏振片、波片等,對偏振光的響應與非偏振光不同。激光束的高偏振比可以確保這些光學元件效能最大化。

增強過程效率:在激光加工中,如切割、打孔或焊接,特定偏振狀態(tài)的激光可以提高處理效率和質(zhì)量。例如,線性偏振激光可以在與偏振方向相互作用的金屬表面上產(chǎn)生更干凈、更精確的切割效果。

測量和分析:在光譜學和光學成像等領域,偏振激光被用來探測和分析樣品的光學性質(zhì)。高偏振比的激光可以提供更為精確的數(shù)據(jù)。

測量激光偏振比:

激光偏振比的測量通常涉及使用偏振片和光強計。通過旋轉(zhuǎn)偏振片,并測量不同角度下的光強,可以計算出激光偏振比。理想情況下,完全偏振的光束會有一個非常高的偏振比,接近無限大,而完全非偏振的光束的偏振比則為1。

在選擇或設計激光系統(tǒng)時,了解激光的偏振比以及如何控制它是至關重要的,這有助于優(yōu)化系統(tǒng)的整體性能和適用性。

10.光斑直徑:

光斑直徑通常指的是激光束在某個特定距離上的橫截面直徑,也可以理解為激光束在目標表面上形成的圓形或橢圓形斑點的直徑。光斑直徑的大小取決于多種因素,包括激光束的發(fā)散角度、聚焦系統(tǒng)的焦距和質(zhì)量、以及目標表面與激光束的距離等。

在激光應用中,光斑直徑的大小對于加工精度和效率至關重要。通常情況下,較小的光斑直徑意味著更高的空間分辨率和加工精度,但可能需要更復雜的光學系統(tǒng)來實現(xiàn)。相反,較大的光斑直徑可能會降低空間分辨率,但在某些情況下可能更適合于快速加工。

11.光斑圓度:

光斑圓度是指激光束橫截面的形狀與完美圓形之間的相似程度。用來衡量光斑在某個平面上的對稱性和均勻性。圓度通常被表示為一個比率或百分比,數(shù)值越接近1或100%,表示光斑越接近理想的圓形。光斑圓度的計算方法之一是利用光斑的最小直徑和最大直徑的比值。

如果光斑的橫截面是一個理想的圓形,那么最小直徑和最大直徑相等,此時圓度為1。

如果橫截面是橢圓形,那么最小直徑和最大直徑會有所不同,導致圓度小于1。

在激光加工和光學系統(tǒng)設計中,光斑圓度是一個重要的指標。圓度高的光斑通常意味著激光束在傳輸過程中受到的失真較小,從而確保更好的聚焦和更精確的加工。同時,高圓度的光斑也可以減小光學系統(tǒng)中的不均勻性,有助于提高光學性能。

12.光斑發(fā)散角:

光斑發(fā)散角是指激光束從光源或光學系統(tǒng)輸出后,在傳播過程中光斑直徑逐漸增大的角度。這一參數(shù)是用來描述激光束的發(fā)散性質(zhì)的,常用單位是mrad(毫弧度)或度。

mrad是激光束發(fā)散角或聚焦角的常用單位,代表"毫弧度"。“mrad"是"milliradian"的縮寫,其中"m"表示"milli-”,即千分之一。一弧度是一個圓心角的單位,等于半徑長的弧長所對應的角度,而毫弧度則是一弧度的千分之一。在激光技術中,mrad常用來描述激光束的發(fā)散角或聚焦角,即激光束從發(fā)射源或光學系統(tǒng)中傳播時的擴散或聚焦程度。通常情況下,較小的mrad值表示激光束更為集中或聚焦,而較大的mrad值則表示激光束更為擴散。

發(fā)散角的大小影響著激光束的聚焦能力和在特定距離上的光斑大小,對于許多應用來說是一個關鍵的性能指標。發(fā)射角越大,相同的距離,光斑的大小越大。

發(fā)散角的影響:

射程和聚焦:發(fā)散角越小,激光束的射程越遠,聚焦效果越好。小發(fā)散角意味著激光束可以在較遠的距離上保持較小的光斑,這對于精確打標、切割等應用非常重要。

能量密度:發(fā)散角較小的激光束,在較遠的距離上仍能維持較高的能量密度,這對于一些需要高能量密度的應用(如激光武器、遠距離傳輸?shù)龋┲陵P重要。

13.光束指向穩(wěn)定性:

光束指向穩(wěn)定性是指激光束在傳播過程中保持其方向性的能力。

在許多應用中,特別是需要高精度定位或精確照射的情況下,光束的指向穩(wěn)定性至關重要。

影響光束指向穩(wěn)定性的因素包括:

機械振動和沖擊:如果激光器或光學系統(tǒng)受到外部機械振動或沖擊,可能會導致光束方向發(fā)生變化,影響光束指向穩(wěn)定性。

溫度變化:溫度的變化可能導致光學元件的形變或折射率的變化,進而影響光束的傳播方向。

氣流擾動:在大氣環(huán)境中傳播時,氣流擾動可能會使光束發(fā)生偏轉(zhuǎn)或波動,影響其指向穩(wěn)定性。

光學元件的松動或變形:如果光學元件固定不穩(wěn)或存在變形,可能會導致光束的方向發(fā)生變化。

提高光束指向穩(wěn)定性的方法包括:

機械穩(wěn)定性設計:設計穩(wěn)固的機械結(jié)構以減少外部振動和沖擊對系統(tǒng)的影響。

溫度控制:對激光器和光學系統(tǒng)進行恒溫控制,以減小溫度變化對光束方向的影響。

氣流控制:在需要穩(wěn)定光束傳播的環(huán)境中采取氣流控制措施,減少氣流擾動對光束的影響。

精確的光學元件固定:確保光學元件固定穩(wěn)定,避免松動或變形。

反饋控制系統(tǒng):使用反饋控制系統(tǒng)監(jiān)測光束的方向,并根據(jù)需要對光學系統(tǒng)進行微調(diào)以保持光束的穩(wěn)定指向。

14.光束位置準確性:

光束位置準確性是指激光束在空間中的位置與預期位置之間的偏差程度。

在許多應用中,特別是需要進行精確定位或精確加工的情況下,光束位置的準確性至關重要。

影響光束位置準確性的因素包括:

光學系統(tǒng)的校準:光學系統(tǒng)的準確校準對于確保光束位置的準確性至關重要。這包括調(diào)整透鏡、反射鏡、光學棱鏡等元件的位置和角度,以確保光束沿著預期的路徑傳播。

機械穩(wěn)定性:光學系統(tǒng)的機械穩(wěn)定性直接影響光束位置的準確性。如果光學元件或支架存在松動或振動,會導致光束位置發(fā)生變化。

光學元件的制造精度:光學元件的制造精度對于確保光束位置準確性也是至關重要的因素。制造過程中的偏差或不均勻性可能會導致光束位置偏離預期值。

環(huán)境因素:溫度變化、氣流擾動等環(huán)境因素也會影響光束位置的準確性。溫度變化可能導致光學元件的形變或折射率的變化,氣流擾動可能使光束發(fā)生偏轉(zhuǎn)。

提高光束位置準確性的方法包括:

精確的光學系統(tǒng)設計和校準:使用高精度的光學元件,并進行準確的校準以確保光束沿著預期路徑傳播。

穩(wěn)定的機械結(jié)構:設計穩(wěn)固的機械結(jié)構以減少外部振動和沖擊對系統(tǒng)的影響。

環(huán)境控制:對激光器和光學系統(tǒng)進行溫度控制,并在需要時采取氣流控制措施,減少環(huán)境因素對光束位置的影響。

實時監(jiān)測和反饋:使用實時監(jiān)測系統(tǒng)對光束位置進行監(jiān)測,并根據(jù)需要進行反饋調(diào)整,以保持光束位置的準確性。

另外還有諧波抑制、熱噪聲、邊模抑制比等性能指標參數(shù)不再詳細闡述。

轉(zhuǎn)自:光學與半導體綜研

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