“一次性通過了Coherent(相干)公司的測試，是公司電子特氣發(fā)展的關(guān)鍵一步”，凱美特氣董秘張偉9月26日晚接受財聯(lián)社記者采訪時表示，子公司凱美特電子特氣生產(chǎn)的激光混配氣通過相干公司的測試，將有助于拓展電子特氣在飛秒激光手術(shù)等多個激光器領(lǐng)域的應(yīng)用。由于激光器也是光刻機的重要組件，此次測試也為未來在芯片加工等領(lǐng)域的應(yīng)用迎來了關(guān)鍵一步。

9月26日凱美特氣公告，稱電子特氣公司生產(chǎn)的用于ExciStar 激光器的193nm激光混配氣已在Coherent(相干)德國公司設(shè)備上經(jīng)過了測試，并于 2021年9月 24日收到 Coherent(相干)公司發(fā)來的針對以 上激光混配氣產(chǎn)品通過其測試結(jié)果的確認函。

據(jù)了解，成立50余年的Coherent(相干)公司，是一家為科學(xué)、商業(yè)和工業(yè)客戶提供激光和基于激光技術(shù)的全球供應(yīng)商，提供從激光測量和控制產(chǎn)品到精密光學(xué)和激光系統(tǒng)的產(chǎn)品，產(chǎn)品服務(wù)于科研、 醫(yī)療、工業(yè)加工等多個行業(yè)。

張偉介紹，通過Coherent(相干)公司的適配性測試，是電子特氣在全球激光應(yīng)用領(lǐng)域的“一道關(guān)”。公司產(chǎn)品一次性獲得通過，證明了公司準分子激光氣體的產(chǎn)品質(zhì)量以及在電子特種氣體領(lǐng)域的鋼瓶內(nèi)壁處理技術(shù)的能力，含氟 ppm 級別多組分氣體混配以及氣體分析等綜合實力已達到國際一流水平。

準分子激光氣體可廣泛應(yīng)用于醫(yī)療、光刻、OLED 顯示等行業(yè)，對于公司未來批量銷售電子特種氣體產(chǎn)品具有積極意義。公司還將與相干公司配合進行多批次送檢測試，以建立最佳的適配參數(shù)。

張偉介紹，此外，由于激光器也是光刻機的關(guān)鍵組件，本次測試獲得通過，對公司產(chǎn)品今后在芯片加工等領(lǐng)域的應(yīng)用也是關(guān)鍵的一環(huán)，“如果說通過阿斯麥爾光刻機的認證需要四步，目前接近到了第三步的樣子。”

不過，凱美特氣昨晚的公告也稱，本次產(chǎn)品測試的確認函暫時未對公司營業(yè)收入、利潤造成影響。認證程序還有多批次測試，目前尚未實際形成產(chǎn)品銷售以及協(xié)議的簽署。

電子特氣等工業(yè)用氣的“卡脖子”問題近年以來得到重視，今年工信部還為此召開專門會議。凱美特氣對此重視較早，在2018年成立電子特氣公司進行攻關(guān)。

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