IXION 193 SLM是一款單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，應(yīng)用于光學(xué)計量、193 nm步進光學(xué)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器的帶寬控制等領(lǐng)域。小于80 MHz的光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。

該系統(tǒng)的中心波長可定制，范圍在185至194 nm之間，并可在訂購時配置為固定波長。

該系統(tǒng)還可以集成一臺絕對光譜精度為0.001 nm的高精度光譜儀（額外選購）。這使得對激光光譜調(diào)諧的控制具有更大的精度。

產(chǎn)品參數(shù)：

可選附件：

• 圖形用戶界面
• LabView庫
• 精密光譜儀
• 中心波長:185 ~ 194 nm
• 符合CDRH的快門

應(yīng)用領(lǐng)域：

• 光譜儀校準(zhǔn)
• 光刻
• 干涉度量
• 193 nm 計量
• 準(zhǔn)分子激光器種子源

典型性能：