來自Crystal Laser Systems GmbH的緊湊型MOPA系列紫外納秒固態(tài)激光器具有355、266和213 nm的波長。 該激光系統(tǒng)是基于二極管泵浦的無源Q開關(guān)YAG激光器,其后是二極管泵浦的光放大器。這種MOPA原理可實現(xiàn)比未放大系統(tǒng)更高的脈沖能量。不同型號下可提供脈沖能量高達(dá)200 uJ,平均功率高達(dá)200 mW,重復(fù)頻率高達(dá)20 kHz。由于使用了微芯片設(shè)計,因此實現(xiàn)了1 ns范圍內(nèi)的短脈沖長度,從而提供了高達(dá)200 kW的高脈沖峰值功率。 該激光器的典型應(yīng)用包括微加工,玻璃,塑料和其他透明基板的標(biāo)記,以及半導(dǎo)體研究和生命科學(xué)領(lǐng)域的基礎(chǔ)研究。
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