在FBG以及其他布拉格光柵刻寫領(lǐng)域，先鋒科技可提供深紫外準(zhǔn)分子激光器、深紫外連續(xù)激光器、深紫外準(zhǔn)連續(xù)脈沖激光器以及超快直寫平臺。無論是掩膜干涉刻寫、全息刻寫、深紫外直寫、超快直寫，先鋒科技都可為您提供性能優(yōu)越穩(wěn)定、使用成本優(yōu)化的激光器。

一、ATL ATLEX－FBG 準(zhǔn)分子激光器

ATLEX－FBG為德國ATL公司專門為FBG光柵刻寫而優(yōu)化的準(zhǔn)分子激光器。分布均勻的光斑、良好的相干性、主動穩(wěn)定性控制，保證了掩膜干涉刻寫的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性；同時，針對準(zhǔn)分子激光器的結(jié)構(gòu)和特性，ATLEX－FBG在設(shè)計制造時采用系列獨特的技術(shù)，以使減少維護(hù)、便利維護(hù)、減少消耗、降低成本、增加產(chǎn)率。

• 矩形平頂分布光斑，相對于高斯光斑更符合加工需求
• ＞300微米空間相干，強(qiáng)度、干涉掩膜均宜
• 全金屬陶瓷腔體，金屬密封，長壽命
• 軟暈預(yù)電離，固態(tài)脈沖高壓發(fā)生器，確保脈沖穩(wěn)定性
• 內(nèi)置靜電粉塵吸附，降低污染，延長窗片壽命
• 2L容量氣室，減少消耗；千萬發(fā)長氣體壽命
• 模塊式設(shè)計，集成真空泵和鹵素濾清器
• 全風(fēng)冷設(shè)計，主動熱管理，無需水冷
• 內(nèi)置能量穩(wěn)定主動控制
• 快卸式鏡架設(shè)計，更換鏡片之后無需調(diào)節(jié)
• 緊湊體積，豐富軟件控制接口

二、LEXEL 85／ 95 系列離子激光器及Quantum 8／9 DUV激光器

在紫外／深紫外全息、干涉光刻領(lǐng)域，連續(xù)輸出離子激光器以其高光束品質(zhì)、長相干長度、豐富波長輸出，仍舊是良好選擇。四十年來LEXEL一直專注于高功率離子激光器，部分激光管的運行時間超過兩萬小時仍在正常工作；其高效能陶瓷氣體管、固太銦鋼腔體確保了激光器的壽命和穩(wěn)定性，一直被模仿，從未被超越。85／95 氬離子激光器系列提供351nm － 528nm，最高7W輸出；氪離子激光器提供476nm － 799nm輸出。激光器可多線同時運行，或可調(diào)諧的單線運行。

Quantum 8／9 倍頻器采用腔式倍頻，可輸出高達(dá)200mW的深紫外激光，非常適合全息光刻應(yīng)用。新一代基于ARM的控制器提供可視化的遠(yuǎn)程操作，并可快速切換倍頻輸出與基頻輸出。

三、Xiton 深紫外固體脈沖激光器

隨著固體激光技術(shù)的發(fā)展，采用固體激光器非線性高次諧波輸出的深紫外激光器逐漸進(jìn)入深紫外加工應(yīng)用領(lǐng)域。固體激光器壽命長、穩(wěn)定性好、免維護(hù)、無耗材，體積緊湊、能耗低，在工業(yè)和實驗室應(yīng)用均具備優(yōu)勢。

Xiton專業(yè)生產(chǎn)納秒脈沖、高重頻、準(zhǔn)連續(xù)、窄線寬激光器，尤為特色的是提供193、213、224、266、355nm等多個波長深紫外、紫外輸出，具備優(yōu)秀的光束質(zhì)量、長相干長度，平均功率可達(dá)數(shù)百毫瓦，在部分場景可替代氣體激光器作為FBG刻寫光源；同時，納秒脈沖所具備的高峰值功率，以及TEM00光束模式所帶來的高聚焦功率密度，使得這系列激光器也可用于FBG的紫外直寫。

Xiton適合FBG刻寫以及其它布拉格光柵刻寫的深紫外／紫外激光器主要有iXION系列、SLM系列、Excite系列、Impress系列等。

IMPRESS213 FBG刻寫實例：

四、超快激光FBG直寫平臺

超快激光在透明材料內(nèi)直接刻寫微納結(jié)構(gòu)是近年發(fā)展起來的熱門應(yīng)用。針對于FBG，超快直寫可以穿透光纖覆層直接在纖芯構(gòu)建折射率結(jié)構(gòu)，無需破壞覆層，無需載氫，刻寫的FBG具備耐高溫高濕及長壽命的特征，而且可以隨意制訂調(diào)制深度、結(jié)構(gòu)尺寸、光柵周期及其變化。同時，更可以靈活的刻寫平面波導(dǎo)光柵、二維光柵、體光柵等立體結(jié)構(gòu)，具備非常廣闊的應(yīng)用潛力。

SpeaRay Bragg為專為FBG超快直寫設(shè)計的超快微加工系統(tǒng)，配置高穩(wěn)定花崗巖龍門架結(jié)構(gòu)、高精度大行程平移臺，實時成像監(jiān)控光路，可實現(xiàn)石英玻璃內(nèi)高達(dá)0．45的折射率變化以及150nm尺度以下的低散射布拉格點刻寫，可用于FBG刻寫、波導(dǎo)光柵刻寫、VBG刻寫、啁啾FBG直寫等加工。

應(yīng)用示例