在FBG以及其他布拉格光柵刻寫領(lǐng)域,先鋒科技可提供深紫外準(zhǔn)分子激光器、深紫外連續(xù)激光器、深紫外準(zhǔn)連續(xù)脈沖激光器以及超快直寫平臺。無論是掩膜干涉刻寫、全息刻寫、深紫外直寫、超快直寫,先鋒科技都可為您提供性能優(yōu)越穩(wěn)定、使用成本優(yōu)化的激光器。 一、ATL ATLEX-FBG 準(zhǔn)分子激光器 ATLEX-FBG為德國ATL公司專門為FBG光柵刻寫而優(yōu)化的準(zhǔn)分子激光器。分布均勻的光斑、良好的相干性、主動穩(wěn)定性控制,保證了掩膜干涉刻寫的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性;同時,針對準(zhǔn)分子激光器的結(jié)構(gòu)和特性,ATLEX-FBG在設(shè)計制造時采用系列獨特的技術(shù),以使減少維護(hù)、便利維護(hù)、減少消耗、降低成本、增加產(chǎn)率。
二、LEXEL 85/ 95 系列離子激光器及Quantum 8/9 DUV激光器
在紫外/深紫外全息、干涉光刻領(lǐng)域,連續(xù)輸出離子激光器以其高光束品質(zhì)、長相干長度、豐富波長輸出,仍舊是良好選擇。四十年來LEXEL一直專注于高功率離子激光器,部分激光管的運行時間超過兩萬小時仍在正常工作;其高效能陶瓷氣體管、固太銦鋼腔體確保了激光器的壽命和穩(wěn)定性,一直被模仿,從未被超越。85/95 氬離子激光器系列提供351nm - 528nm,最高7W輸出;氪離子激光器提供476nm - 799nm輸出。激光器可多線同時運行,或可調(diào)諧的單線運行。 Quantum 8/9 倍頻器采用腔式倍頻,可輸出高達(dá)200mW的深紫外激光,非常適合全息光刻應(yīng)用。新一代基于ARM的控制器提供可視化的遠(yuǎn)程操作,并可快速切換倍頻輸出與基頻輸出。
三、Xiton 深紫外固體脈沖激光器 隨著固體激光技術(shù)的發(fā)展,采用固體激光器非線性高次諧波輸出的深紫外激光器逐漸進(jìn)入深紫外加工應(yīng)用領(lǐng)域。固體激光器壽命長、穩(wěn)定性好、免維護(hù)、無耗材,體積緊湊、能耗低,在工業(yè)和實驗室應(yīng)用均具備優(yōu)勢。 Xiton專業(yè)生產(chǎn)納秒脈沖、高重頻、準(zhǔn)連續(xù)、窄線寬激光器,尤為特色的是提供193、213、224、266、355nm等多個波長深紫外、紫外輸出,具備優(yōu)秀的光束質(zhì)量、長相干長度,平均功率可達(dá)數(shù)百毫瓦,在部分場景可替代氣體激光器作為FBG刻寫光源;同時,納秒脈沖所具備的高峰值功率,以及TEM00光束模式所帶來的高聚焦功率密度,使得這系列激光器也可用于FBG的紫外直寫。
Xiton適合FBG刻寫以及其它布拉格光柵刻寫的深紫外/紫外激光器主要有iXION系列、SLM系列、Excite系列、Impress系列等。
IMPRESS213 FBG刻寫實例:
四、超快激光FBG直寫平臺 超快激光在透明材料內(nèi)直接刻寫微納結(jié)構(gòu)是近年發(fā)展起來的熱門應(yīng)用。針對于FBG,超快直寫可以穿透光纖覆層直接在纖芯構(gòu)建折射率結(jié)構(gòu),無需破壞覆層,無需載氫,刻寫的FBG具備耐高溫高濕及長壽命的特征,而且可以隨意制訂調(diào)制深度、結(jié)構(gòu)尺寸、光柵周期及其變化。同時,更可以靈活的刻寫平面波導(dǎo)光柵、二維光柵、體光柵等立體結(jié)構(gòu),具備非常廣闊的應(yīng)用潛力。 SpeaRay Bragg為專為FBG超快直寫設(shè)計的超快微加工系統(tǒng),配置高穩(wěn)定花崗巖龍門架結(jié)構(gòu)、高精度大行程平移臺,實時成像監(jiān)控光路,可實現(xiàn)石英玻璃內(nèi)高達(dá)0.45的折射率變化以及150nm尺度以下的低散射布拉格點刻寫,可用于FBG刻寫、波導(dǎo)光柵刻寫、VBG刻寫、啁啾FBG直寫等加工。
應(yīng)用示例
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