Coherent公司的PowerLine AVIA NX是一款激光切割子系統(tǒng)，它將高功率紫外激光器與精密掃描光學(xué)系統(tǒng)相結(jié)合，可提供快速的生產(chǎn)以及高的切割質(zhì)量。 

該器件可處理晶圓，系統(tǒng)級(jí)封裝和印刷電路板等。雙軸檢流計(jì)偏轉(zhuǎn)器、光束擴(kuò)展器和f-theta掃描透鏡在工作表面產(chǎn)生很小尺寸的聚焦光斑，并具有較高的定位精度和穩(wěn)定性，以實(shí)現(xiàn)精細(xì)的特征和窄區(qū)域切割以最小的熱影響區(qū)。