北京卓立漢光儀器有限公司最新推出DVIA-MB主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái),該光學(xué)平臺(tái)是專門(mén)為SEM和TEM顯微鏡設(shè)計(jì)主動(dòng)隔振平臺(tái),其隔振性能優(yōu)異,廣泛應(yīng)用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡,掃面隧道顯微鏡,激光干涉儀 ,半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備,三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等。
特點(diǎn): ● 具有非常優(yōu)秀的隔振性能,特別是在低頻0.5Hz- 10Hz達(dá)到90%以上的隔振效率 ● 采用慣性傳感器,可以檢測(cè)出六個(gè)自由度的振動(dòng)并做補(bǔ)償 ● 采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)臺(tái)面,厚度可選100/200/300mm ● 進(jìn)口精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)
技術(shù)指標(biāo): ● 固有頻率:0.5-100Hz ● 自動(dòng)平衡,響應(yīng)時(shí)間短,平衡速度快 ● 鋼蜂巢內(nèi)核:鋼制蜂窩芯,鋼板厚度0.25mm,每個(gè)蜂巢面積3.2cm^2 ● 表面平整度:±0.1mm /600 mm^2 ● 臺(tái)面:4.0mm厚度430 系列高導(dǎo)磁鎳合不銹鋼 ● 底面:4.0mm厚碳鋼,表面氧化處理 ● 邊墻板:2.0mm厚碳鋼,包裹高阻尼聚乙烯材料 ● 孔徑: M6 (英制螺孔可選) ● 孔距:25mmX25mm(英制孔距可選),最外邊孔距平臺(tái)邊緣37.5mm ● 螺孔密封:每個(gè)螺紋孔下方設(shè)有柱形隔離杯密封,方便清潔 ● 阻尼隔振方式:寬帶阻尼
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