近期，縱慧芯光（Vertilite）在《自然·通訊》線上期刊發(fā)表的論文中展示了用于車載激光雷達(dá)（LiDAR）的創(chuàng)新產(chǎn)品——超小發(fā)散角AR-VCSEL（增透型垂直腔面發(fā)射激光器）。AR-VCSEL標(biāo)志著縱慧芯光在實(shí)現(xiàn)低發(fā)散和高亮度方面取得了重大突破，克服了傳統(tǒng)長腔多結(jié)VCSEL所面臨的限制。

在這篇論文中，縱慧芯光展示了AR-VCSEL增透腔簡潔的設(shè)計(jì)原理，以及它在激光雷達(dá)光源上顯著的小發(fā)散角性能帶來的綜合優(yōu)勢。AR-VCSEL創(chuàng)造了VCSEL領(lǐng)域多項(xiàng)世界紀(jì)錄，包括小發(fā)散角（4.1° in FWHM或8.0° in D86 full angle）、高亮度（> 40 kW·mm⁻² sr⁻¹）和單模光功率（28.4 mW single mode lasing）等，顯著提高了基于VCSEL的激光雷達(dá)探測距離和分辨率。

AR-VCSEL是對VCSEL基本結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的重大突破。傳統(tǒng)小發(fā)散角的長腔VCSEL常常受到多波長激射等問題的困擾，與其不同的是，AR-VCSEL通過引入增透區(qū)和儲光區(qū)，極大地減小了諧振腔的長度，確保了單縱模（單波長）的激射，如下圖對比所示。

縱慧芯光的AR-VCSEL可以通過控制氧化層限制因子從而控制其D86發(fā)散角在8-20度的任意角度，可以非常便利地針對車載激光雷達(dá)客戶的角度需求進(jìn)行定制，如下圖所示。根據(jù)公開信息，2023年中國車載激光雷達(dá)出貨量71萬臺，大約有50萬輛乘用車配備了激光雷達(dá)，滲透率不到2%，激光雷達(dá)行業(yè)未來將大有可為。

除了在激光雷達(dá)領(lǐng)域的應(yīng)用之外，AR-VCSEL中的儲光概念和技術(shù)為表面發(fā)射激光器的設(shè)計(jì)提供了寶貴的工具，包括PCSEL、TCSEL和單模VCSEL等，為其他半導(dǎo)體激光技術(shù)提供了潛在的提升空間。下圖縱慧芯光展示了VCSEL的單模功率記錄：28.4mW，同時(shí)SMSR可達(dá)40dB。

VCSEL在消費(fèi)電子產(chǎn)品中出貨量達(dá)到數(shù)十億顆，已成為人類歷史上使用最廣泛的激光器，超過了所有其他激光器類型的總使用量�；�于VCSEL的激光雷達(dá)有望在未來幾年將其成本降低至100美元。AR-VCSEL具有和傳統(tǒng)VCSEL同樣的成本優(yōu)勢，但其亮度可以有幾倍的提升，如下圖所示。

傳統(tǒng)的VCSEL在激光雷達(dá)中很難探測200米以上的距離，而AR-VCSEL的出現(xiàn)輕松解決了這一痛點(diǎn)�？v慧芯光認(rèn)為AR-VCSEL在200米到400米這一范圍將大顯身手。AR-VCSEL已經(jīng)得到激光雷達(dá)行業(yè)的廣泛歡迎，累計(jì)出貨已超過百萬顆，即將對激光雷達(dá)產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響。

文章來源：MEMS

注：文章版權(quán)歸原作者所有，本文僅供交流學(xué)習(xí)之用，如涉及版權(quán)等問題，請您告知，我們將及時(shí)處理。