近日，由合肥脈博光電科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“脈博光電”）研制的國(guó)產(chǎn)化鍺聲光調(diào)制器取得重大技術(shù)突破，衍射效率超過(guò)92%，通光功率超過(guò)500 W。該產(chǎn)品已成功通過(guò)用戶端嚴(yán)格測(cè)試，完成產(chǎn)業(yè)化并量產(chǎn)出貨，打破國(guó)外壟斷。

該聲光調(diào)制器具有高功率、高損傷閾值、高透過(guò)率、高衍射效率的特點(diǎn)，對(duì)極紫外光刻應(yīng)用中的CO₂激光的控制有積極意義，可顯著提高OLED等顯示面板行業(yè)的激光加工精度，對(duì)汽車、電子、照明和包裝等行業(yè)的薄膜類材料激光加工也有助力。

產(chǎn)品主要指標(biāo)

工作波長(zhǎng)：9.6 μm

透 過(guò) 率：>93%

光 偏 振：線偏振，平行于底座

有效孔徑：8 mm

工作頻率：40.68 MHz

衍射效率：>85%

布拉格角：35.5 mrad

分 離 角：71 mrad

上升時(shí)間：118 ns @ 1 mm

（工作波長(zhǎng)9.4~10.6 μm可選）

脈博光電是一家專門從事聲光、電光、磁光調(diào)制器和光學(xué)儀器的開(kāi)發(fā)和制造的技術(shù)型公司，專注于對(duì)光的精密控制和應(yīng)用。公司研制的多款聲光調(diào)制器、聲光偏轉(zhuǎn)器、聲光移頻器、普克爾盒、相位調(diào)制器、光彈調(diào)制器等均受到業(yè)內(nèi)頭部企業(yè)的關(guān)注。在集成電路、平板顯示、LED、太陽(yáng)能電池等泛半導(dǎo)體制程均有廣泛應(yīng)用。

文章來(lái)源： 脈博光電

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