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半導(dǎo)體激光器 激光切割 激光器
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高能超快關(guān)鍵核心加工技術(shù)獲重大突破
材料來源:重慶兩江新區(qū)          

近日,重慶兩江協(xié)同創(chuàng)新區(qū)入駐高校院所傳來好消息,華東師范大學(xué)重慶研究院關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)取得從無(wú)到有的重大突破。

該研究院通過自主研發(fā)的首臺(tái)(套)1030 nm波段毫焦級(jí)飛秒固體激光器,成功實(shí)現(xiàn)了高能超快激光在玻璃和空氣中的激光成絲,初步驗(yàn)證了光源的性能,實(shí)現(xiàn)了從無(wú)到有的重大突破,對(duì)國(guó)產(chǎn)高端超快激光器形成產(chǎn)業(yè)化發(fā)展有著重要意義。

另外,研究院還采用飛秒紅外雙色脈沖作為頻率上轉(zhuǎn)換探測(cè)的信號(hào)光與泵浦光,進(jìn)行了“飛秒脈沖”試驗(yàn),證明飛秒脈沖的窄脈寬特性能夠大大提供高分辨的時(shí)間精度,在轉(zhuǎn)換成像過程中,使成像系統(tǒng)的縱向分辨率高達(dá)到38 μm。

目前,針對(duì)該項(xiàng)技術(shù),研究院已申請(qǐng)國(guó)家發(fā)明專利,有望為無(wú)標(biāo)記組織病理學(xué)診斷、半導(dǎo)體無(wú)損檢測(cè)及紅外形貌測(cè)量等重要應(yīng)用提供有力支撐。

激光是20世紀(jì)以來繼核能、電腦、半導(dǎo)體之后,人類的又一重大發(fā)明,被稱為“最快的刀”“最準(zhǔn)的尺”“最亮的光”。激光技術(shù)是先進(jìn)生產(chǎn)力的典型代表,更是先進(jìn)制造的重要工具,被我國(guó)列為重要戰(zhàn)略支撐技術(shù)。在半導(dǎo)體芯片制造、航空材料及高鐵海工等高端裝備制造、新材料和新器件加工等戰(zhàn)略性新興領(lǐng)域,發(fā)揮著重要作用。

▲ 華東師范大學(xué)超快激光產(chǎn)品的研發(fā)制造生產(chǎn)線

相關(guān)負(fù)責(zé)人表示,在超快激光和精密光譜領(lǐng)域,研究院有著多年的實(shí)驗(yàn)研究與技術(shù)積累。目前,除首臺(tái)(套)1030 nm波段毫焦級(jí)飛秒固體激光器,還研制完成了國(guó)內(nèi)首臺(tái)基于摻鐿氟化鈣晶體的毫焦級(jí)固體飛秒再生放大器(激光器)。

毫焦級(jí)固體飛秒再生放大器

毫焦級(jí)固體飛秒再生放大器可以輸出脈沖寬度300 fs、脈沖能量大于1毫焦的超快強(qiáng)場(chǎng)脈沖,將激光聚焦后,能夠在金屬材料上輕松制備出高精度的微孔結(jié)構(gòu)。

該激光器的研發(fā)面向第三代半導(dǎo)體芯片切割、OLed手機(jī)面板切割、飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)葉片打孔等高端應(yīng)用領(lǐng)域,打破了國(guó)外激光巨頭公司對(duì)國(guó)內(nèi)高端激光器產(chǎn)品的市場(chǎng)壟斷,有望改變國(guó)內(nèi)對(duì)進(jìn)口高端激光光源和儀器裝備的嚴(yán)重依賴,沖擊全球超快激光市場(chǎng),助力重慶乃至國(guó)家激光制造、智能制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展,形成國(guó)際領(lǐng)先的超快激光技術(shù)產(chǎn)業(yè)集群。

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