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研究人員揭示納米激光器制造關(guān)鍵技術(shù)突破
材料來源:科技日報(bào)          

據(jù)美國物理學(xué)家組織網(wǎng)近日報(bào)道,美國加利福尼亞大學(xué)伯克利分?茖W(xué)家利用新技術(shù)直接在硅表面生長出了極微小的納米柱,形成一種亞波長激光器,這一成果將為制造納米光學(xué)設(shè)備如激光器、光源檢測儀、調(diào)制器、太陽能電池等帶來新的突破。

  硅材料奠定了現(xiàn)代電子學(xué)的基礎(chǔ),但它在發(fā)光領(lǐng)域還有很多不足之處。工程人員轉(zhuǎn)向了另外一族名為III-V半導(dǎo)體的新材料,以此來制造光基元件,如發(fā)光二極管和激光器。

  加利福尼亞大學(xué)伯克利分校的研究人員通過金屬—有機(jī)化學(xué)蒸發(fā)沉積的方法,在400攝氏度條件下,用一種III-V族材料銦鎵砷在硅表面生長出納米柱。這種納米柱有著獨(dú)特的六角形晶體結(jié)構(gòu),能將光線控制在它微小的管中,形成一種高效導(dǎo)控光腔。它能在室溫下產(chǎn)生波長約950納米的近紅外激光,光線在其中以螺旋形式上下傳播,經(jīng)過光學(xué)上的相互作用而得以放大。

  研究人員指出,將III-V和硅結(jié)合制成單一的光電子芯片面臨的最大障礙是,目前制造硅基材料的工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備無法與制造III-V設(shè)備兼容。“要讓III-V半導(dǎo)體在硅表面上生長,與硅制造設(shè)備兼容是關(guān)鍵,但由于經(jīng)濟(jì)和技術(shù)方面的原因,目前的硅電子生產(chǎn)設(shè)施很難改變。我們選用了一種能和CMOS(互補(bǔ)金屬氧化半導(dǎo)體,用于制造集成線路)兼容的生長工藝,在硅芯片上成功整合了III-V納米激光器。傳統(tǒng)方法生長III-V半導(dǎo)體,要在700攝氏度或更高溫度下進(jìn)行,這會毀壞硅基電子元件。而新工藝在400攝氏度下就能生長出高質(zhì)量III-V材料,保證了硅基電子元件正常發(fā)揮功能。”主要研究人員、加州大學(xué)伯克利分校電學(xué)工程與計(jì)算機(jī)科學(xué)教授康妮·張-哈斯南說。

  張-哈斯南還指出,這種亞波長激光器技術(shù)將對多科學(xué)領(lǐng)域產(chǎn)生廣泛影響,包括材料科學(xué)、晶體管技術(shù)、激光科學(xué)、光電子學(xué)和光物理學(xué),促進(jìn)計(jì)算機(jī)、通訊、展示和光信號處理等領(lǐng)域光電子學(xué)的革命。“最終,我們希望加強(qiáng)這些激光的特征性能,以實(shí)現(xiàn)光子和電子設(shè)備的結(jié)合。”

 


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