2019年9月9日，中科合創(chuàng)（北京）科技成果評(píng)價(jià)中心組織專(zhuān)家，在北京召開(kāi)了由英諾激光科技股份有限公司完成的“AONANO-XP系列MOPA-ns激光器技術(shù)”等三項(xiàng)項(xiàng)目科技成果評(píng)價(jià)會(huì)，MOPA-ns激光器順利通過(guò)評(píng)價(jià)。

英諾激光股份有限公司成立于2011年，是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，總部位于深圳市南山區(qū)科技園，專(zhuān)注于微加工領(lǐng)域激光器的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及以激光模組形式為客戶(hù)提供定制化微加工解決方案。公司是全球少數(shù)同時(shí)具有納秒、亞納秒、皮秒、飛秒級(jí)微加工激光器核心技術(shù)和生產(chǎn)能力的工業(yè)激光器生產(chǎn)廠商，是全球少數(shù)實(shí)現(xiàn)工業(yè)深紫外納秒激光器批量供應(yīng)的生產(chǎn)商之一。產(chǎn)品包括DPSS調(diào)Q納秒激光器、超短脈沖（皮秒、飛秒）激光器和MOPA（納秒/亞納秒）激光器，涵括從紅外到深紫外不同波段、從納秒到飛秒多種脈寬。

專(zhuān)家組審閱了技術(shù)方提供的技術(shù)資料，聽(tīng)取了技術(shù)研究匯報(bào)，經(jīng)質(zhì)詢(xún)、答疑和討論，形成相關(guān)意見(jiàn)。

其中，“AONANO-XP系列MOPA-ns激光器技術(shù)”提供的技術(shù)資料基本齊全，符合科技成果評(píng)價(jià)要求；該技術(shù)設(shè)計(jì)并采用主振蕩器功率放大（MOPA）結(jié)構(gòu)的光纖激光器，輸出線(xiàn)性偏振紅外，并轉(zhuǎn)換成綠光、紫外到深紫外波段的納秒脈沖，光束質(zhì)量M2小于1.2、脈沖寬度100ps——5ns可調(diào)、脈沖重復(fù)頻率10kHz——2MHz可選、峰值功率大于25kW；該技術(shù)在MOPA結(jié)構(gòu)的光纖激光器中使用自主研發(fā)的多程光纖放大器，獲得了平均功率超過(guò)120W的1064nm@1MHz紅外光的納秒輸出。在太陽(yáng)能等領(lǐng)域得到應(yīng)用；該技術(shù)獲得多項(xiàng)專(zhuān)利。專(zhuān)家組同意通過(guò)科技成果評(píng)價(jià)，整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

AOPICO系列高功率紫外皮秒激光器提供的技術(shù)資料基本齊全，符合科技成果評(píng)價(jià)要求；該技術(shù)利用SESAM鎖模技術(shù)在光纖中產(chǎn)生皮秒脈沖，基于MOPA結(jié)構(gòu)進(jìn)行放大，然后通過(guò)固體放大器以及非線(xiàn)性轉(zhuǎn)換模塊，輸出紫外波段的高能量皮秒脈沖，光束質(zhì)量M2小于1.2、脈沖重復(fù)頻率從單脈沖至1.5MHz、平均功率35W@800kHz；該技術(shù)設(shè)計(jì)并采用了光纖種子源、固態(tài)放大技術(shù)，兼具了兩者技術(shù)優(yōu)勢(shì)。同時(shí)，自主設(shè)計(jì)了工作頻率高于1MHz的高速電路和相關(guān)軟件，激光器的輸出脈沖能量不隨工作頻率改變而改變。在消費(fèi)類(lèi)電子等領(lǐng)域得到應(yīng)用；該技術(shù)申請(qǐng)專(zhuān)利多項(xiàng)。專(zhuān)家組同意通過(guò)科技成果評(píng)價(jià)，整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

FORMULA系列高功率紫外納秒激光器技術(shù)項(xiàng)目提供的技術(shù)資料基本齊全，符合科技成果評(píng)價(jià)要求；該技術(shù)利用腔內(nèi)三倍頻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了平均功率高于30W的紫外激光輸出，從紅外到紫外的能量轉(zhuǎn)換效率接近50%；該技術(shù)采用自主設(shè)計(jì)的激光諧振腔、溫度控制技術(shù)、以及基于FPGA的高速信號(hào)處理，使得激光器具有光束質(zhì)量M2小于1.2、光斑圓度大于95%，以及脈沖峰值功率穩(wěn)定性小于2%（rms），12小時(shí)平均功率穩(wěn)定性小于0.5%（rms）。在消費(fèi)類(lèi)電子領(lǐng)域得到應(yīng)用；該技術(shù)獲得多項(xiàng)專(zhuān)利。專(zhuān)家組同意通過(guò)科技成果評(píng)價(jià)，整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。